ダイヤモンド工具・cBN工具
切削ツール
超精密切削工具 ＵＰＣナノツール
マイクロ加工の分野において、ＵＰＣナノマイクロフォーミングツールはナノメーターオーダの切れ刃形状精度と切れ味でフォトリソグラフフィ法やイオンビーム法では得られない表面粗さと真直度を実現します。
特長
- ・フォトリソグラフィ法やイオンビーム法では得られない高精度な微細溝入れ
- ・９００ｎｍ（０．９μｍ）の微細直線溝入れ加工が可能
- ・３０μｍ幅の自由な溝入れ加工が可能
- ・Ｒ３０μｍによるボールエンドミルにより微細な３次元形状の加工が可能
- ・楕円、非球面、凹Ｒの高能率な一発加工が可能
用途
・ホログラム回折格子金型、導光板金型、マイクロレンズアレイ金型
・マイクロ－ＴＡＳ（マイクロ流路）やその金型、自由曲面サブミリレンズ
・液晶ディスプレイ光学フィルム成型ロール
・ナノインプリント用金型、マイクロマシン部品
技術資料
ＵＰＣ－Ｎａｎｏ Groove
微細直線溝加工例
刃幅９００ｎｍの切れ刃の拡大
（刃幅の５倍の長さの製作が可能）
ＵＰＣ－Ｎａｎｏ endmill
微細曲線溝加工例（最小溝幅３０μｍの自由な溝入れ加工が可能）
ＵＰＣ－Ｎａｎｏ ballendmill
マイクロレンズアレイの加工例（コーナーＲ３０μｍのディンプル加工が可能）
ＵＰＣ－Ｎａｎｏ Ｐｒｏｆｉｌｅ
楕円切れ刃
連続凸Ｒ凹Ｒの加工面
加工部のイメージ
