ダイヤモンド工具・cBN工具

切削ツール

超精密切削工具 UPCナノツール

マイクロ加工の分野において、UPCナノマイクロフォーミングツールはナノメーターオーダの切れ刃形状精度と切れ味でフォトリソグラフフィ法やイオンビーム法では得られない表面粗さと真直度を実現します。

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UPCナノマイクロフォーミングツール

特長
  1. ・フォトリソグラフィ法やイオンビーム法では得られない高精度な微細溝入れ
  2. ・900nm(0.9μm)の微細直線溝入れ加工が可能
  3. ・30μm幅の自由な溝入れ加工が可能
  4. ・R30μmによるボールエンドミルにより微細な3次元形状の加工が可能
  5. ・楕円、非球面、凹Rの高能率な一発加工が可能

用途

・ホログラム回折格子金型、導光板金型、マイクロレンズアレイ金型
・マイクロ-TAS(マイクロ流路)やその金型、自由曲面サブミリレンズ
・液晶ディスプレイ光学フィルム成型ロール
・ナノインプリント用金型、マイクロマシン部品

技術資料
UPC-Nano Groove
UPC-Nano Groove

微細直線溝加工例

微細直線溝加工例

刃幅900nmの切れ刃の拡大 (刃幅の5倍の長さの製作が可能)

刃幅900nmの切れ刃の拡大
(刃幅の5倍の長さの製作が可能)

UPC-Nano endmill
UPC-Nano endmill

刃先詳細図(100/1)

微細曲線溝加工例

微細曲線溝加工例(最小溝幅30μmの自由な溝入れ加工が可能)

UPC-Nano ballendmill
UPC-Nano ballendmill

マイクロレンズアレイの加工例

マイクロレンズアレイの加工例(コーナーR30μmのディンプル加工が可能)

UPC-Nano Profile
楕円切れ刃

楕円切れ刃

凹R凸Rの連続切れ刃を持つ

連続凸R凹Rの加工面

連続凸R凹Rの加工面

加工部のイメージ

加工部のイメージ

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