タングステン・モリブデン・放熱基板材料
加工製品他
タングステン製品
タングステン板
●製品選定ガイド
◎最適 ○適する △あまり適さない
| 用途 | 種類 | 切削性 | 曲げ加工性 | 耐衝撃性 | スパッター性 | 密度 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 3N-W | 焼成用敷板、ボート、ヒータ、 リフレクター、ヒートシンク材、 ウエイト、スペーサ、各種治工具 |
強圧延加工品 | ◎ | ◎ | ○ | ◎ | ◎ |
| 軽圧延加工品 | ○ | ○ | △ | △ | ○ | ||
| シンター品 | △ | △ | △ | △ | △ | ||
| 4N-W | スパッタリングターゲット材、 ホットプレス用金型 |
強圧延加工品 | ◎ | ◎ | ○ | ◎ | ◎ |
| 軽圧延加工品 | ○ | ○ | △ | △ | ○ | ||
| シンター品 | △ | △ | △ | △ | △ | ||
| 5N-W | スパッタリングターゲット材 | 強圧延加工品 | ◎ | ◎ | ○ | ◎ | ◎ |
| 軽圧延加工品 | ○ | ○ | △ | △ | ○ | ||
| シンター品 | △ | △ | △ | △ | △ | ||
| 材質 | 純度 |
|---|---|
| 3N-W（一般材） | 99.95%以上 |
| 4N-W（高純度材） | 99.99%以上 |
| 5N-W（超高純度材） | 99.999%以上 |
| 種類 | 密度(Mg/m3) | 相対密度(%) |
|---|---|---|
| 強圧延加工品 | 18.6～19.3 | 96.3～100.0 |
| 軽圧延加工品 | 18.0～18.5 | 93.2～95.8 |
| シンター品 | 17.0～17.9 | 88.1～92.7 |
| 板厚一般許容差 ±10% | 仕上げ面 | 寸法 | |||
|---|---|---|---|---|---|
| 酸洗面 | 研削/研磨面 | ホーニング面 | 最大幅 | 最大長さ | |
| 1.0～4.9 | ○ | ○ | ○ | 300 | 500 |
| 5.0～9.9 | ○ | ○ | ○ | 300 | 300 |
| 10.0～30.0 | ○ | ○ | ○ | 300 | 200 |
