株式会社アライドマテリアル

シリコンウェーハ粗研削用ホイール
「ナノメイト Vハート」

シリコンウェーハ粗研削用ホイール</br>「ナノメイト Vハート」
シリコンウェーハ粗研削用ホイール</br>「ナノメイト Vハート」
シリコンウェーハ粗研削用ホイール</br>「ナノメイト Vハート」
シリコンウェーハ粗研削用ホイール</br>「ナノメイト Vハート」

アズデポジション、アズスライスウェーハの一次研削加工に威力を発揮

砥粒保持力に優れたビトリファイドボンドホイールで、高気孔率組織と特徴ある砥粒層形状が、低い研削抵抗を実現し、新しい加工領域を創造します。
300mmシリコンウェーハで1μm 以下の平坦度を実現するナノメイトは、従来困難であった半導体・電子部品などの脆弱材料の加工を可能にします。

特長

  • 研削抵抗はレジンボンドホイールの約1/10となります,細粒でありながら高能率・低負荷加工を実現します,最適砥粒間隔を設定できるV形状が良好な切れ味を持続します

用途

  • アズデポジション、アズスライスウェーハなどの一次研削加工

産業

  • 半導体・電子

被削材料

  • 半導体材料

加工方法

  • 平面研削,両頭平面研削

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