LT(Lithium Tantalate)ウェーハの低ダメージ加工を実現

SAWフィルタとして使用されている脆弱材料のLTウェーハは、加工ダメージにより破損が発生しやすいため、加工面の表面粗さ向上が求められています。
切れ味の持続性に優れる高気孔率砥粒層を有する「ナノメイトプレミアム」は、研削点に効率よく供給するための機能を付加したボディ形状を付加することで、低ダメージ加工を実現します。