板切断加工品
高精度カスタム品・少量製作もご相談下さい
自社保有している多彩な加工設備により任意形状に加工したタングステン・モリブデンも高精度で製作可能です。まずは用途や、ご要求寸法、加工、仕上方法などご所望の内容を、以下問い合わせリンクより弊社へご連絡下さい。試作やテストピース用など、少量製作のご要求にもお応えします。
| 用 途 |
半導体製造装置用構造部材、高温炉用敷板 など |
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加工形状例
| 外周切り欠き形状 | 多角形状 | 板穴あけ形状 | 角板台座形状 | 角板ザグリ形状 |
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| 円板形状 | リング形状 | 円錐台形状 | 円板台座形状 | 円板ザグリ形状 |
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タングステン品種選定ガイド
スクロールで表全体をご覧いただけます。
| 品種 | 用途 | 種類 | 切削性 | 曲げ加工性 | 耐衝撃性 | スパッター性 | 密度 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 3N-W | 焼成用敷板、ボート、ヒータ、リフレクター、ヒートシンク材、ウエイト、スペーサ、各種治工具 | 圧延加工品 | ◎ | ◎ | ○ | ◎ | ◎ |
| 4N-W | スパッタリングターゲット材、ホットプレス用金型 | 圧延加工品 | ◎ | ◎ | ○ | ◎ | ◎ |
| 5N-W | スパッタリングターゲット材 | 圧延加工品 | ◎ | ◎ | ○ | ◎ | ◎ |
タングステン板の種類
| 品種 | 純度(%) |
|---|---|
| 3N-W（一般材） | 99.95以上 |
| 4N-W（高純度材） | 99.99以上 |
| 5N-W（超高純度材） | 99.999以上 |
| 種類 | 密度(g/cm3) | 相対密度(%) |
|---|---|---|
| 圧延加工品 | 18.6～19.3 | 96.3～100.0 |
タングステン板の標準仕様
スクロールで表全体をご覧いただけます。
| 板厚一般許容差 ±10% (mm) |
仕上げ面 | 寸法(mm) | |||
|---|---|---|---|---|---|
| CC面 | 研削/研磨面 | ホーニング面 | 最大幅 | 最大長さ | |
| 1.0～2.9 | ○ | ○ | ○ | 300 | 500 |
| 3.0～4.9 | ○ | ○ | ○ | 500 | 2000 |
| 5.0～10.0 | ○ | ○ | ○ | 500 | 1000 |
※ 10mm超は、別途ご相談させていただきます。
モリブデン品種選定ガイド
スクロールで表全体をご覧いただけます。
| 品種 | 用途 | 種類 | 高温耐変形性 | 耐衝撃性 | 曲げ加工性 | 絞り加工性 | 切削性 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| MOP | ヒートシンク材、蒸着用ボート、電子管、炉部材、るつぼ | 標準品 | △ | ○ | ○ | ○ | ◎ |
| 深絞り用素材、蒸着用ボート | クロス圧延品 | △ | ○ | ◎ | ◎ | ◎ | |
| TEM | リフレクター | 標準品 | ○ | ◎ | ○ | ○ | ○ |
| DMB | 焼成用敷板 溶着防止用敷板 台板 ボート |
ホーニング面 コーティング面 |
◎ | △ | △ | △ | ○ |
| TEM-B | ◎ | ○ | ◎ | ○ | △ | ||
| TEM | 酸洗／鏡面 | ○ | ◎ | ○ | △ | ○ |
モリブデン板の標準仕様
スクロールで表全体をご覧いただけます。
| 板厚 一般許容差±10% (mm) |
品種 | 仕上げ面 | 寸法(mm) | |||
|---|---|---|---|---|---|---|
| MOP | TEM | 鏡面 | 酸洗面 | 最大幅 | 最大長さ | |
| 0.015～0.099 | ○ | ○ | 110 | 500 | ||
| 0.10～0.15 | ○ | ○ | 300 | 1000 | ||
| 0.16～0.19 | ○ | ○ | ○ | 300 | 1500 | |
| 0.20～2.9 | ○ | ○ | ○ | ○ | 600 | 2000 |
| 3.0～25.0 | ○ | ○ | ○ | 600 (1000) |
1000 (3000) |
|
※上記許容差は、仕上げにより変わることがあります。
また、上記以外の仕様についてはご相談させていただきます。
（ ）内の数値は圧延材での最大サイズ
スクロールで表全体をご覧いただけます。
| 板厚 一般許容差±10% (mm) |
品種 | 仕上げ面 | 寸法(mm) | |||
|---|---|---|---|---|---|---|
| MOP | TEM | 鏡面 | 酸洗面 | 最大幅 | 最大長さ | |
| 0.015～0.099 | ○ | ○ | 110 | 500 | ||
| 0.10～0.15 | ○ | ○ | 300 | 1000 | ||
| 0.16～0.19 | ○ | ○ | ○ | 300 | 1500 | |
| 0.20～2.9 | ○ | ○ | ○ | ○ | 600 | 2000 |
| 3.0～25.0 | ○ | ○ | ○ | 600 (1000) |
1000 (3000) |
|
※上記許容差は、仕上げにより変わることがあります。
また、上記以外の仕様についてはご相談させていただきます。
（ ）内の数値は圧延材での最大サイズ
モリブデン板のクロス圧延品標準仕様
スクロールで表全体をご覧いただけます。
| 板厚 一般許容差±10% (mm) |
品種 | 仕上げ面 | 寸法(mm) | |
|---|---|---|---|---|
| MOP | 鏡面 | 最大幅 | 最大長さ | |
| 0.10～1.00 | ○ | ○ | 300 | 1000 |
※深絞り性に優れるクロス圧延仕上も承っております。必要に応じてお申し付けください。
板厚さの許容差は、仕上げにより変わることがあります。
- タングステン技術情報
- モリブデン技術情報