株式会社アライドマテリアル

板切断加工品

高精度カスタム品・少量製作もご相談ください
自社保有している多彩な加工設備により任意形状に加工したタングステン・モリブデンも高精度で製作可能です。まずは用途や、ご要求寸法、加工、仕上方法などご所望の内容を、以下問い合わせリンクより弊社へご連絡ください。試作やテストピース用など、少量製作のご要求にもお応えします。

用 途

半導体製造装置用構造部材、高温炉用敷板　など

加工形状例

 外周切り欠き形状 多角形状  板穴あけ形状 角板台座形状  角板ザグリ形状

 円板形状  リング形状 円錐台形状   円板台座形状 円板ザグリ形状 

タングステン品種選定ガイド

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品種 用途 種類 切削性 曲げ加工性 耐衝撃性 スパッター性 密度
3N-W 焼成用敷板、ボート、ヒータ、リフレクター、ヒートシンク材、ウエイト、スペーサ、各種治工具 圧延加工品 ◎ ◎ ○ ◎ ◎
4N-W スパッタリングターゲット材、ホットプレス用金型 圧延加工品 ◎ ◎ ○ ◎ ◎
5N-W スパッタリングターゲット材 圧延加工品 ◎ ◎ ○ ◎ ◎

タングステン板の種類

品種 純度(%)
3N-W（一般材） 99.95以上
4N-W（高純度材） 99.99以上
5N-W（超高純度材） 99.999以上
種類 密度(g/cm3) 相対密度(%)
圧延加工品 18.6～19.3 96.3～100.0

タングステン板の製作可能範囲

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厚み (mm)
以上 ～ 未満		 仕上げ面 寸法 (mm) 許容差 (mm)
幅・長さ
圧延 鏡面 CC 切削 研磨 ホーニング 最大幅 最大長さ
0.4～0.5 ● ● ●   ●   100 500 -
0.5～1.0 ● ● ●   ●   300 500 -
1.0～1.5 ●   ● ● ● ● 300 500 ±2.0
1.5～3.0 ●   ● ● ● ● 300 500 ±3.0
3.0～5.0 ●   ● ● ● ● 500 2,000 ±3.0
5.0～11.0 ●   ● ● ● ● 500 1,000 ±3.0

※ 上記以外の寸法は、お問い合わせください。

タングステン板の仕上げ面

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仕上げ面 表面粗さ (μm)
（代表値）		 特長
圧延 Ra3.0 最も一般的なタングステン板です。板厚が3mm以下は加熱して曲げ加工、プレス加工が可能です。
また、切削加工、研磨加工が容易にできるよう十分に歪取りを行なったタングステン板をご提供します。
鏡面 Ra1.6 圧延を繰り返すことで表面の凹凸を軽減させ、板表面に光沢を付加したタングステン板です。
CC Ra2.9 圧延による表面状態のバラツキを軽減させるため、酸による洗浄を施します。
切削 Ra2.0 圧延仕上げよりも精度が必要な場合は、表面を切削加工します。
研磨 Ra0.6 切削仕上げよりも精度や表面粗さを必要とする場合は、研磨加工が可能です。
ホーニング Ra2.5 アルミナ砥粒にてブラスト処理した材料です。

モリブデン品種選定ガイド

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品種 用途 種類 高温耐変形性 耐衝撃性 曲げ加工性 絞り加工性 切削性
MOP ヒートシンク材、蒸着用ボート、電子管、炉部材、るつぼ 標準品 △ ○ ○ ○ ◎
深絞り用素材、蒸着用ボート クロス圧延品 △ ○ ◎ ◎ ◎
TT-TEMⓇ リフレクター 標準品 ○ ◎ ○ ○ ○
TT-DMBⓇ 焼成用敷板
溶着防止用敷板
台板
ボート		 酸洗／切削／研磨面
ホーニング面
コーティング面		 ◎ △ △ △ ○
TT-TEMⓇ-B ◎ ○ ◎ ○ △
TT-TEMⓇ 酸洗／鏡面／研磨面 ○ ◎ ○ △ ○
TZM ○ ◎ ○ △ ○

モリブデン板の製作可能範囲

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品種名 厚み (mm)
以上 ～ 未満		 仕上げ面 サイズ (mm)
鏡面 酸洗面 ホーニング面 最大幅 最大長さ
MOP 0.015～0.1 ※2 ●     110 500
0.1～0.15 ※2 ●     350 1,000
0.15～0.2 ※2 ● ●   350 1,000
0.2～3.0 ※2 ● ●   600 2,000
3.0～25.0   ●   600
(1,000)		 1,000
(3,000)
TT-TEMⓇ ※1 0.2～3.0 ● ●   600 2,000
3.0～25.0   ●   600
(1,000)		 1,000
(3,000)
TT-TEM-BⓇ ※1 0.5～1.5 ● ● ● 300 600
1.5～3.0 ● ● ● 500 600
3.0～7.0   ● ● 600 600
TT-DMBⓇ 1.5～3.0 ● ● ● 500 600
3.0～15.0   ● ● 600 600
TZM 1.0～35.0 ● ● ● 600 1,000

※1：高温使用時の変形防止のために組織制御した製品
※2：絞り加工性を向上した製品も対応可能
※3：（　）内の数値は圧延材での最大サイズ
上記以外の寸法は、お問い合わせください

モリブデン板のクロス圧延品標準仕様

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板厚
一般許容差±10%
(mm)		 品種 仕上げ面 寸法(mm)
MOP 鏡面 最大幅 最大長さ
0.10～1.00 ● ● 300 1000

※深絞り性に優れるクロス圧延仕上も承っております。必要に応じてお申し付けください。
　板厚さの許容差は、仕上げにより変わることがあります。

タングステン技術情報
モリブデン技術情報