6件中/1-6件目を表示
砥粒保持力に優れたビトリファイドボンドホイールで、高気孔率組織と特徴ある砥粒層形状が、低い研削抵抗を実現し、新しい加工領域を創造します。
用途 | アズデポジション、アズスライスウェーハなどの一次研削加工 |
---|
300mmシリコンウェーハのポリッシュ軽減や薄厚化デバイスウェーハの割れ抑制など、脆弱な材料加工ダメージ層、ひずみ層の軽減に威力を発揮します。
用途 | 各種半導体ウェーハの超精密平面研削加工 |
---|
連続加工が難しい単結晶SiCの連続加工を可能にします。またSiウェーハと同じ送り速度で加工することができ、超平滑な加工面を得ることができます。
用途 | 各種半導体ウェーハの超精密平面研削加工 |
---|